以 RH 真空精煉爐為例，其核心為機(jī)械真空 泵系統(tǒng)，如圖 1 所示。

 PT- 真空壓力變送器；TT- 廢氣溫度變 送器 ；DT- 廢 氣 粉 塵 濃 度檢測(cè)儀； FT- 氣水介質(zhì)流量檢測(cè)儀；VTS- 泵體振動(dòng)檢測(cè)儀；M- 電機(jī)電流檢測(cè)儀； AT- 廢氣分析儀；SOV- 自動(dòng)閥門；NX- 真空切斷閥。

該系統(tǒng)包括鋼液廢氣冷卻 器、鋼液廢氣除塵器及多級(jí)機(jī)械泵組。 多級(jí)機(jī)械泵組由三級(jí)羅茨泵和一級(jí)螺桿泵v>串聯(lián)而成，每級(jí)泵由多臺(tái)規(guī)格相同的單泵并聯(lián)而 成。第四級(jí)泵采用抽氣能力較強(qiáng)的螺桿泵，以保 證前三級(jí)羅茨泵的抽氣速度及穩(wěn)定的粗真空狀 態(tài)建立。由于鋼液精煉過程中的廢氣含高粉塵特 性，因此配置除塵過濾系統(tǒng)來保護(hù)各級(jí)機(jī)械泵， 并在過濾器前端配置廢氣冷卻器以避免高熱氣 體對(duì)濾袋及機(jī)械泵組的影響。如圖 1 所示，該系 統(tǒng)配置有真空壓力、廢氣溫度、粉塵濃度、氣水介 質(zhì)流量、廢氣分析、電機(jī)電流、泵體振動(dòng)等在線測(cè) 量設(shè)備和真空自動(dòng)切斷閥。